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毛細管鍍層測厚儀的精準測量能力源于多個部件協同運作

更新時間:2025-09-28點擊次數:39
   毛細管鍍層測厚儀的核心優勢在于利用微聚焦X射線與毛細管X射線光學系統,實現對微小區域(可小至20μm)的高精度、非破壞性測量,尤其適用于復雜曲面、細小部件或高價值飾品的鍍層質量控制。毛細管鍍層測厚儀的精準測量能力源于多個部件的協同運作。

 


  1、微焦點X射線源
  采用微焦點X射線管,焦點尺寸可小至幾微米,發射高能X射線(如Rh靶,20-50kV)。其特點:
  高亮度與高準直性:確保X射線束高度集中,為后續聚焦奠定基礎;
  穩定輸出:電壓與電流可調,適應不同元素與基材的激發需求;
  長壽命:保障設備持續穩定運行。
  2、毛細管X射線光學系統
  這是儀器的核心技術。由全反射玻璃毛細管(如聚束型或錐形毛細管)構成,利用X射線在玻璃內壁的全反射原理,將發散的X射線束高效聚焦成微米級細光斑(直徑20-100μm)。其特點:
  高效聚光:顯著提升照射區域的X射線強度,增強信號;
  空間分辨率高:可精準定位微小鍍層區域,避免邊緣效應;
  無像差設計:保證光斑形狀規則,測量結果準確。
  3、探測器系統
  采用高分辨率硅漂移探測器(SDD),用于接收樣品受激后產生的特征X射線熒光。其特點:
  高能量分辨率:能清晰分辨金(AuLα)、銀(AgKα)等相近能量的譜線;
  高計數率:快速采集信號,縮短測量時間;
  低溫冷卻:通常采用Peltier制冷,降低噪聲,提升信噪比。
  4、三維電動樣品臺
  配備XYZ三軸精密步進電機或伺服電機驅動平臺,移動精度可達1μm。功能包括:
  精確定位:將待測點精準移至X射線焦點;
  自動尋邊:通過預掃描確定鍍層邊界;
  多點測量:編程實現陣列式自動測量,生成厚度分布圖。
  5、成像與對焦系統
  高清CCD攝像頭:提供樣品表面實時彩色圖像,放大倍數可達200倍以上;
  同軸照明:環形LED光源,確保視野明亮均勻;
  自動對焦:通過圖像對比度或激光輔助,確保樣品表面處于最佳焦平面,保證X射線激發效率。
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